等离子操作及注意事项(新)

OPS-OMEGA-DT02型等离子体设备操作流程

1. 打开供气钢瓶总阀,并将出口压力通过减压阀调节到合适 值(一般在1一3公斤之间)

2. 打开反应腔门,取出样品板。

3. 将待处理样品置于样品板上。

4. 将样品板水平推入到位。

5. 关闭反应腔门。

6. 开启总电源开关,待触摸屏启动完毕。

7. 输入密码111

8. 参数设定和程序选择。

9. 手动时,按实验人员的意向进行操作;

自动时,按下“自动”、“启动”、“一遍” “自动”、“启动”、按钮,设备自动开始处理过程,当处理过程结束后,自动进人到提醒页面,按“确认’,后回到主页面,等待再次进行实验。同时蜂鸣器鸣响,提醒操作人员实验已经完成。10秒钟后蜂鸣器自动关闭。

10. 打开反应腔门,将样品取出。

11. 再次处理重复以上(2)一(8)步骤。

12. 全部实验验结束后,关闭总电源。

OPS-OMEGA-DT02型等离子体设备保养及注意事项

设备保养:

1. 设备不用时,应将真空反应腔保持真空密封状态。

2. 平时保持反应腔内的清洁,如果有污染应用脱脂棉球沾取丙酮擦拭干净。

3. 经常注意观察真空泵内真空泵油的油位和颜色。转动后的油位要位于油标刻度线的上方(约为2/3高度) ,油的颜色应清澈。如果油位不够或颜色变混,应及时添加或更换。

注意事项:

1. 由于工作气体有一定的危险性,所以工作时真空泵的排气应通过管道排出室外。

2. 设备不使用时应将钢瓶总阀关紧,防止漏气。

3. 设备工作间应保证良好的通风,并严禁明火。

4. 机柜内有高频电源发生器,切勿随意触摸或擅自拆卸,高压危险!

OPS-OMEGA-DT02型等离子体设备操作流程

1. 打开供气钢瓶总阀,并将出口压力通过减压阀调节到合适 值(一般在1一3公斤之间)

2. 打开反应腔门,取出样品板。

3. 将待处理样品置于样品板上。

4. 将样品板水平推入到位。

5. 关闭反应腔门。

6. 开启总电源开关,待触摸屏启动完毕。

7. 输入密码111

8. 参数设定和程序选择。

9. 手动时,按实验人员的意向进行操作;

自动时,按下“自动”、“启动”、“一遍” “自动”、“启动”、按钮,设备自动开始处理过程,当处理过程结束后,自动进人到提醒页面,按“确认’,后回到主页面,等待再次进行实验。同时蜂鸣器鸣响,提醒操作人员实验已经完成。10秒钟后蜂鸣器自动关闭。

10. 打开反应腔门,将样品取出。

11. 再次处理重复以上(2)一(8)步骤。

12. 全部实验验结束后,关闭总电源。

OPS-OMEGA-DT02型等离子体设备保养及注意事项

设备保养:

1. 设备不用时,应将真空反应腔保持真空密封状态。

2. 平时保持反应腔内的清洁,如果有污染应用脱脂棉球沾取丙酮擦拭干净。

3. 经常注意观察真空泵内真空泵油的油位和颜色。转动后的油位要位于油标刻度线的上方(约为2/3高度) ,油的颜色应清澈。如果油位不够或颜色变混,应及时添加或更换。

注意事项:

1. 由于工作气体有一定的危险性,所以工作时真空泵的排气应通过管道排出室外。

2. 设备不使用时应将钢瓶总阀关紧,防止漏气。

3. 设备工作间应保证良好的通风,并严禁明火。

4. 机柜内有高频电源发生器,切勿随意触摸或擅自拆卸,高压危险!


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