热生长SiO2（折射率1.48）和氮化硅（折射率1.97) 颜色对照表 颜色 SiO2厚度（单位：埃） Si3N4厚度（单位：埃） 银 270 200 褐 530 400 黄褐 730 550 红 790 730 深蓝 1000 770 蓝 1200 930 浅蓝 1300 1000 极浅蓝 1500 1100 银 1600 1200 浅黄 1700 1300 黄 2000 1500 橘红 2400 1800 红 2500 1900 暗红 2800 2100 蓝 3100 2300 蓝绿 3300 2500 浅绿 3700 2800 橘黄 4000 3000 红 4400 3300
注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730~790，2400~2500，或者4000~4400（单位：埃）
淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色
与厚度对照表
热生长SiO2（折射率1.48）和氮化硅（折射率1.97) 颜色对照表 颜色 SiO2厚度（单位：埃） Si3N4厚度（单位：埃） 银 270 200 褐 530 400 黄褐 730 550 红 790 730 深蓝 1000 770 蓝 1200 930 浅蓝 1300 1000 极浅蓝 1500 1100 银 1600 1200 浅黄 1700 1300 黄 2000 1500 橘红 2400 1800 红 2500 1900 暗红 2800 2100 蓝 3100 2300 蓝绿 3300 2500 浅绿 3700 2800 橘黄 4000 3000 红 4400 3300
注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730~790，2400~2500，或者4000~4400（单位：埃）
淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色
与厚度对照表