1、高负压系统选择2BEA-303型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，配备电机功率75KW ，最大抽放量52.0m 3/min，最低吸入绝对压力33hpa 。
低负压系统选择2BEA-303型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，配备电机功率55KW ，最大抽放量45m 3/min，最低吸入绝对压力33hpa 。
2、，高负压抽放系统选择2BEX-403-0型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，该泵最大抽气量为115m 3/min，最低吸绝压33hPa ，配套电机功率为132Kw 。低负压抽放系统选择2BEX-353-0型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，该泵最大抽气量为85.5m 3/min，最低吸绝压33hPa ，配套电机功率为110Kw
3、高、低负压抽放系统各选择2BEA-303-0型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，该泵最大抽气量为43.5m 3/min，最低吸绝压33hPa ，配套电机功率为75Kw 。
1、高负压系统选择2BEA-303型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，配备电机功率75KW ，最大抽放量52.0m 3/min，最低吸入绝对压力33hpa 。
低负压系统选择2BEA-303型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，配备电机功率55KW ，最大抽放量45m 3/min，最低吸入绝对压力33hpa 。
2、，高负压抽放系统选择2BEX-403-0型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，该泵最大抽气量为115m 3/min，最低吸绝压33hPa ，配套电机功率为132Kw 。低负压抽放系统选择2BEX-353-0型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，该泵最大抽气量为85.5m 3/min，最低吸绝压33hPa ，配套电机功率为110Kw
3、高、低负压抽放系统各选择2BEA-303-0型水环式真空泵2台(1台工作、1台备用) ，该泵最大抽气量为43.5m 3/min，最低吸绝压33hPa ，配套电机功率为75Kw 。