特气系统设备及特气源容量介绍
特气：100%硅烷（SiH4）和100%氨气（NH3）两种。其包装容器的容积均为440L 的Y -钢瓶。其中
SiH4的满瓶压力为1200Psig 左右，NH3满瓶充装量约227Kg 。
特气系统是用于将氨气和硅烷气体从Y -钢瓶输送到机台使用点的设备和管道。特气系统涉及的设备主要
有：Y -钢瓶、大宗特气供应设备（BSGS ）、分支阀箱（VMB ）、PECVD 机台、尾气处理器、设备
抽风系统以及气体泄漏检测监控系统（GDS ）。
化学品系统设备及储罐容量介绍
现场化学品包括：49%氢氟酸（HF ）、75%硝酸（HNO3）、37%盐酸（HCl ）、96%硫酸（H2SO4）、48%氢氧化钾（KOH ）、氢氧化钠（NaOH ）、异丙醇（IPA ）七种化学品。其包装容器的容积为氢氟酸（HF ）、氢氧化钠（NaOH ）为1000L 的酸碱桶，其余为200L 的酸碱桶。
化学品系统是用于将化学品从化学品柜送至机台，化学品系统涉及到得设备主要有：酸碱桶、化学品柜、储罐、分支阀箱（VMB ）、清洗机台、废液排放系统、设备抽风系统。
危险性和个体防护的表示
标签中用蓝色、红色、黄色和白色四个小菱形分别表示毒性、燃烧危险性、活性反应危害和个体防护，四个小菱形构成一个大菱形，其规定如下：
左格蓝色，表示毒性； 上格红色，表示燃烧危险性；
右格黄色，表示反应活性； 下格白色，表示个体防护。
危险性分级
毒性、燃烧危险性、活性反应危害分别为0～4五级，用0、1、2、3、4黑色数码表示
并填入各自对应的菱形图案中。数字越大，危险性越大。
个体防护分级
根据作业场所的特点和化学品危险性大小，提出九种防护方案。分别用1～9九个黑色
数码和11个示意图形表示，黑色数码填入白色菱形中，示意图置标签的下方，数码越
大，防护级别越高。
特气系统设备及特气源容量介绍
特气：100%硅烷（SiH4）和100%氨气（NH3）两种。其包装容器的容积均为440L 的Y -钢瓶。其中
SiH4的满瓶压力为1200Psig 左右，NH3满瓶充装量约227Kg 。
特气系统是用于将氨气和硅烷气体从Y -钢瓶输送到机台使用点的设备和管道。特气系统涉及的设备主要
有：Y -钢瓶、大宗特气供应设备（BSGS ）、分支阀箱（VMB ）、PECVD 机台、尾气处理器、设备
抽风系统以及气体泄漏检测监控系统（GDS ）。
化学品系统设备及储罐容量介绍
现场化学品包括：49%氢氟酸（HF ）、75%硝酸（HNO3）、37%盐酸（HCl ）、96%硫酸（H2SO4）、48%氢氧化钾（KOH ）、氢氧化钠（NaOH ）、异丙醇（IPA ）七种化学品。其包装容器的容积为氢氟酸（HF ）、氢氧化钠（NaOH ）为1000L 的酸碱桶，其余为200L 的酸碱桶。
化学品系统是用于将化学品从化学品柜送至机台，化学品系统涉及到得设备主要有：酸碱桶、化学品柜、储罐、分支阀箱（VMB ）、清洗机台、废液排放系统、设备抽风系统。
危险性和个体防护的表示
标签中用蓝色、红色、黄色和白色四个小菱形分别表示毒性、燃烧危险性、活性反应危害和个体防护，四个小菱形构成一个大菱形，其规定如下：
左格蓝色，表示毒性； 上格红色，表示燃烧危险性；
右格黄色，表示反应活性； 下格白色，表示个体防护。
危险性分级
毒性、燃烧危险性、活性反应危害分别为0～4五级，用0、1、2、3、4黑色数码表示
并填入各自对应的菱形图案中。数字越大，危险性越大。
个体防护分级
根据作业场所的特点和化学品危险性大小，提出九种防护方案。分别用1～9九个黑色
数码和11个示意图形表示，黑色数码填入白色菱形中，示意图置标签的下方，数码越
大，防护级别越高。