电子厂净化空调设计实例

第22卷第2期2001年4月

能源技术

EN ER GY TECHNOLO GY

Vol. 22 No. 2Apr.  

2001

成果与经验

电子厂净化空调设计实例

赵季芳

(上海铁路局福州勘测设计院, 福州 350013)

摘 要:介绍了某电子厂洁净车间的空调系统设计要求和设计方案、实施效果, 给出了系统划分, 风量计算和气流组织的方法; 并指出:计算倍频中心噪声量, 针对超标频率采用廉价不锈钢网、

无纺布等做成消音器, 可经济有效地控制空调噪声。

关键词:清洁生产; 空调系统; 电子工厂  中图分类号:X383   文献标识码:B   文章编号:100026656(2001) 0220081202

A Design Example of Purifying Air 2Condition in Electronics F actory

ZHAO Ji 2fang

(Shanghai Railway Office 2Fuzhou Reconnaissance and Design Institute , Fuzhou 350013, China )

1 洁净车间结构设计概况与净化要求

洁净车间是生产VCD 和DVD 电子元件的关键部分, 在建筑平面上被安排在厂房的中间(如图1) 。厂房为钢结构, 生产车间为单层建筑, 办公部分为两层建筑, 洁净车间的吊顶高度为3. 3m , 层高为811m 。洁净车间吊顶与屋面之间, 敷设送风管、回风管、排风管等多种工艺管道和高效过滤器, 吊顶由内夹聚氨脂塑料泡沫层的夹心彩钢板组装而成, 上人吊顶与墙面之间的缝隙用密封胶填密, 地面到吊顶采用埃特板构成回风井道, 并和回风管连接

第1、第2车间面积各为2160m 2工作人员各为400人, 第3车间面积1080m 2,200人; 各车间, 检测室, 卫生室和吹淋通道的温度要求为23℃±2℃, 湿度60%±10%, 室内正压大于10Pa , 吹淋通道净化级别为100级, 其余为10万级。

2 净化空调系统的设计

2. 1 净化系统的划分

该厂的净化车间, 最大单间面积2160m 2, 空间大, 风量大, 相邻空调机房的噪声处理困难以及吊顶内的管线多, 为此净化空调分设三个独立的系统。

每个净化系统均设初效、中效、高效过滤器。初效过滤器安装在新风管上, 中效过滤器安装在空调柜内, 高效过滤器安装在吊顶上, 见图2

图2 系统原理图

2. 2 洁净车间送风量和新风量的确定

洁净车间送风量根据车间的洁净度要求确定, 车间的换气次数为22次/h , 并通过下式计算。

() (η) N =

n [1-S ・(1-ηr ) ]式中 N ———室内空气含尘量, 粒/L

・81・

1995-2006 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.

图1 厂房布置平面图

赵季芳:

电子厂净化空间设计实例

G ———室内发尘量, 粒/(m 3・min )

所要求的室内噪声标准。工程实践证明, 净化工程的消声处理不一定要用价格昂贵的微穿孔板消声

器; 在设计中计算出各倍频中心频率的噪声量后, 针对其超标的频率噪声, 采用廉价的不锈钢板网和中效无纺布、多孔材料制作出消声器, 同样能达到消声的目的, 节约工程投资。另外, 高效过滤器和中效过滤器本身也是一种很好的消声器, 在设计计算中应考虑它们的消声量。2. 5 空气处理

为了满足各车间的洁净要求, 设计中把洁净车间分成三个系统; 第一、第二车间各设一个系统, 第三车间、实验室、检测室、卫生室为一个系统。空气处理机由回风段、致冷段、加热段、加湿段、混合段、风机段、中效段、送风段组成。其相应的空气处理过程焓湿图见图4和图5

   M ———大气含尘浓度, 粒/L

n ———换气次数, 次/h S ———回风量和全风量的比ηn ———新风通路上过滤器总效率

ηr ———回风通路上过滤器总效率

洁净车间新风量的确定, 主要从三个方面考虑;

第一、室内工作人员所需的新风量, 每人按40m 3/h 考虑。第二、车间内的排气量。第三、保持正压时的门窗缝隙的漏风量。本工程选择新风量占全风量的12%至15%。正压采用余压阀控制。各车间的送

风、排风、新风的参数见表2。

表2 各洁净室的送风, 排风和新风

洁净室名称第一车间第二车间第三车间检测室实验室卫生室吹淋通道

换气次数排气量次/h

22. 522. 522. 5252425

送风量万m 3161680. 340. 50. 341. 2

新风量高效个数万m 3221. 10. 040. 070. 04

万m 30. 90. 90. 45

[1**********]10

图4 

夏季焓湿图

2. 3 洁净车间的气流组织

各洁净车间的气流组织均采用上送下回的形式如图3。设计中利用墙体和隔板构成回风道, 并与回风管连接。这种做法回风均匀, 每个回风口的风量不会有较大的差别。即使吊顶和墙体以及其它围护结构有些不密封之处, 渗入的室外空气也只能流向回风管道, 而不会污染到室内洁净区

图5 冬季焓湿度

图中点1表示室外空气状态点, 点2表示室内空气和室外空气混合后的空气状态点, 点3表示空

气通过致冷器(夏) 或加热器(冬) 后的空气状态点, 点S 表示空气通过加热器(夏) 或加湿器(冬) 后的空气状态点即送风空气状态点,N 点为室内空气状态点。

图3 车间气流组织

2. 4 消声处理

3 效果

μm 工程竣工后经检测数据如下:室内粒径0. 5

的尘核、最大值314个/L , 最小值114个/L , 平均173个/L ; 室内温度为22℃、相对湿度为62%、正压力为12Pa 、噪声平均为52dB 。

各项指标达到设计要求, 满足生产工艺的净化要求, 效果良好。

在空调设计中噪声是一个很重要的问题, 对于大面积的洁净车间, 它的送风量比一般的空调系统要大得多, 且送风的风压也高达116kPa , 因此通风机的电机容量也比较大, 达90kPa , 通风机的声功级为115dB 。消声技术在本工程中尤为突出。通过减噪计算, 配置相应的消声器和消声小室, 可达到规范

・82・

1995-2006 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.

第22卷第2期2001年4月

能源技术

EN ER GY TECHNOLO GY

Vol. 22 No. 2Apr.  

2001

成果与经验

电子厂净化空调设计实例

赵季芳

(上海铁路局福州勘测设计院, 福州 350013)

摘 要:介绍了某电子厂洁净车间的空调系统设计要求和设计方案、实施效果, 给出了系统划分, 风量计算和气流组织的方法; 并指出:计算倍频中心噪声量, 针对超标频率采用廉价不锈钢网、

无纺布等做成消音器, 可经济有效地控制空调噪声。

关键词:清洁生产; 空调系统; 电子工厂  中图分类号:X383   文献标识码:B   文章编号:100026656(2001) 0220081202

A Design Example of Purifying Air 2Condition in Electronics F actory

ZHAO Ji 2fang

(Shanghai Railway Office 2Fuzhou Reconnaissance and Design Institute , Fuzhou 350013, China )

1 洁净车间结构设计概况与净化要求

洁净车间是生产VCD 和DVD 电子元件的关键部分, 在建筑平面上被安排在厂房的中间(如图1) 。厂房为钢结构, 生产车间为单层建筑, 办公部分为两层建筑, 洁净车间的吊顶高度为3. 3m , 层高为811m 。洁净车间吊顶与屋面之间, 敷设送风管、回风管、排风管等多种工艺管道和高效过滤器, 吊顶由内夹聚氨脂塑料泡沫层的夹心彩钢板组装而成, 上人吊顶与墙面之间的缝隙用密封胶填密, 地面到吊顶采用埃特板构成回风井道, 并和回风管连接

第1、第2车间面积各为2160m 2工作人员各为400人, 第3车间面积1080m 2,200人; 各车间, 检测室, 卫生室和吹淋通道的温度要求为23℃±2℃, 湿度60%±10%, 室内正压大于10Pa , 吹淋通道净化级别为100级, 其余为10万级。

2 净化空调系统的设计

2. 1 净化系统的划分

该厂的净化车间, 最大单间面积2160m 2, 空间大, 风量大, 相邻空调机房的噪声处理困难以及吊顶内的管线多, 为此净化空调分设三个独立的系统。

每个净化系统均设初效、中效、高效过滤器。初效过滤器安装在新风管上, 中效过滤器安装在空调柜内, 高效过滤器安装在吊顶上, 见图2

图2 系统原理图

2. 2 洁净车间送风量和新风量的确定

洁净车间送风量根据车间的洁净度要求确定, 车间的换气次数为22次/h , 并通过下式计算。

() (η) N =

n [1-S ・(1-ηr ) ]式中 N ———室内空气含尘量, 粒/L

・81・

1995-2006 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.

图1 厂房布置平面图

赵季芳:

电子厂净化空间设计实例

G ———室内发尘量, 粒/(m 3・min )

所要求的室内噪声标准。工程实践证明, 净化工程的消声处理不一定要用价格昂贵的微穿孔板消声

器; 在设计中计算出各倍频中心频率的噪声量后, 针对其超标的频率噪声, 采用廉价的不锈钢板网和中效无纺布、多孔材料制作出消声器, 同样能达到消声的目的, 节约工程投资。另外, 高效过滤器和中效过滤器本身也是一种很好的消声器, 在设计计算中应考虑它们的消声量。2. 5 空气处理

为了满足各车间的洁净要求, 设计中把洁净车间分成三个系统; 第一、第二车间各设一个系统, 第三车间、实验室、检测室、卫生室为一个系统。空气处理机由回风段、致冷段、加热段、加湿段、混合段、风机段、中效段、送风段组成。其相应的空气处理过程焓湿图见图4和图5

   M ———大气含尘浓度, 粒/L

n ———换气次数, 次/h S ———回风量和全风量的比ηn ———新风通路上过滤器总效率

ηr ———回风通路上过滤器总效率

洁净车间新风量的确定, 主要从三个方面考虑;

第一、室内工作人员所需的新风量, 每人按40m 3/h 考虑。第二、车间内的排气量。第三、保持正压时的门窗缝隙的漏风量。本工程选择新风量占全风量的12%至15%。正压采用余压阀控制。各车间的送

风、排风、新风的参数见表2。

表2 各洁净室的送风, 排风和新风

洁净室名称第一车间第二车间第三车间检测室实验室卫生室吹淋通道

换气次数排气量次/h

22. 522. 522. 5252425

送风量万m 3161680. 340. 50. 341. 2

新风量高效个数万m 3221. 10. 040. 070. 04

万m 30. 90. 90. 45

[1**********]10

图4 

夏季焓湿图

2. 3 洁净车间的气流组织

各洁净车间的气流组织均采用上送下回的形式如图3。设计中利用墙体和隔板构成回风道, 并与回风管连接。这种做法回风均匀, 每个回风口的风量不会有较大的差别。即使吊顶和墙体以及其它围护结构有些不密封之处, 渗入的室外空气也只能流向回风管道, 而不会污染到室内洁净区

图5 冬季焓湿度

图中点1表示室外空气状态点, 点2表示室内空气和室外空气混合后的空气状态点, 点3表示空

气通过致冷器(夏) 或加热器(冬) 后的空气状态点, 点S 表示空气通过加热器(夏) 或加湿器(冬) 后的空气状态点即送风空气状态点,N 点为室内空气状态点。

图3 车间气流组织

2. 4 消声处理

3 效果

μm 工程竣工后经检测数据如下:室内粒径0. 5

的尘核、最大值314个/L , 最小值114个/L , 平均173个/L ; 室内温度为22℃、相对湿度为62%、正压力为12Pa 、噪声平均为52dB 。

各项指标达到设计要求, 满足生产工艺的净化要求, 效果良好。

在空调设计中噪声是一个很重要的问题, 对于大面积的洁净车间, 它的送风量比一般的空调系统要大得多, 且送风的风压也高达116kPa , 因此通风机的电机容量也比较大, 达90kPa , 通风机的声功级为115dB 。消声技术在本工程中尤为突出。通过减噪计算, 配置相应的消声器和消声小室, 可达到规范

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